S11竞猜APP下载-伯东 Pfeiffer 真空泵在石墨烯生长装置的应用
聚光 发布时间:2021-11-25 聚光 来源: S11竞猜APP下载 聚光
       

石墨烯(Graphene)是一种由碳原子以sp²杂化轨道构成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料.

石墨烯具有优良的光学/ 电学/ 力学特征, 在材料学/ 微纳加工/ 能源/ S11竞猜APP下载医学和药物传递等方面具有主要的利用前景, 被认为是一种将来革命性的材料.

石墨烯的奇异的物理性质如极高的载流子迁徙率/ 室温下亚微米标准的弹道传输特征/ 反常量子霍尔效应/ 极优的力学机能和电子自旋输运/ 超导电性等, 使其在纳米电子学和自旋电子学元器件方面具有很是广漠的成长前景.

材料的制备是实现其功能化利用的根本, 年夜面积高质量石墨烯的制备依然是困扰科研人员的一浩劫题. 石墨烯固然可以经由过程良多种发展体例取得, 如机械剥离法, 以单晶金属为衬底的CVD法化学氧化还原法等, 可是碳化硅外延发展法被通俗认为是实现工业化制备和出产石墨烯的最有用路子之一.

外延法制备石墨烯

所谓的外延法, 即在一个晶格布局上经由过程晶格匹配发展出别的一种晶体的方式. 与其它制备方式比力, 外延法是最有可能取得年夜面积/ 高质量石墨烯的制备方式.

金属催化外延发展法

金属催化外延发展法是在超高真空前提下将碳氢化合物通入到具有催化活性的过渡金属基底如Pt/ Ir/ Ru/ Cu等概况, 经由过程加热使吸附气体催化脱氢从而制得石墨烯. 气体在吸附进程中可以长满全部金属基底, 而且其发展进程为一个自限进程, 即基底吸附气体后不会反复接收, 是以, 所制备出的石墨烯多为单层, 且可以年夜面积地制备出平均的石墨烯.

SiC外延发展法

根基道理是:以SiC单晶为衬底, 起首操纵氢气在高温下对SiC的刻蚀效应对衬底概况进行平整化处置, 使之构成具有原子级平整度的台阶阵列描摹的概况; 然后, 在超高真空的情况下, 将SiC衬底概况加热到1400℃以上, 使衬底概况的碳硅键产生断裂, Si原子会先在C原子升华而从概况脱附, 而概况富集的C原子产生重构从而构成六方蜂窝状的石墨烯薄膜.

超高真空的样品室可觉得石墨烯的发展供给洁净的工作情况,削减样品的污染

而石墨烯的外延发展后的概况布局阐发多利用STM装备.

扫描地道显微镜 STM 是一种操纵量子理论中的地道效应探测物资概况布局的仪器, STM 手艺的最年夜优势在在可取得原子级的分辩率.

份子束外延 MBE 与扫描地道显微镜 STM 联用: 可以成功阐发 MBE 发展晶体概况布局, 这类联用现已普遍利用在各年夜院校和研究院利用概况物理尝试中. 份子束外延 MBE 与扫描地道显微镜 STM 系统都需要在超高真空情况中进行, 对真空度要求和其高, 需要伯东 Pfeiffer 真空泵系列份子泵低振动, 低噪音, 洁净无油确保超高真空的不变性已包管晶格的发展和后期的探测阐发.

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